超聲加工技術在不斷完善之中，正向著高精度、微細化發展，微細超聲加工技術有望成為微電子機械系統(MEMS)技術的有力補充。
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(4） 微細超聲加工技術
以微機械為代表的微細制造是現代制造技術中的一個重要組成部分，晶體硅、光學玻璃、工程陶瓷等硬脆材料在微機械中的廣泛應用，使硬脆材料的高精度三維微細加工技術成為世界各國制造業的一個重要研究課題。目前可適用于硬脆材料加工的手段主要有光刻加工、電火花加工、激光加工、超聲加工等特種加工技術。超聲加工與電火花加工、電解加工、激光加工等技術相比，既不依賴于材料的導電性又沒有熱物理作用，與光刻加工相比又可加工高深寬比三維形狀，這決定了超聲加工技術在陶瓷、半導體硅等非金屬硬脆材料加工方面有著得天獨厚的優勢。
隨著東京大學生產技術研究所增澤研究室對微細工具的成功制作及微細工具裝夾、工具回轉精度等問題的合理解決，采用工件加振的工作方式在工程陶瓷材料上加工出了直徑最小為5μm的微孔，從而使超聲加工作為微細加工技術成為可能。
超聲加工技術在不斷完善之中，正向著高精度、微細化發展，微細超聲加工技術有望成為微電子機械系統(MEMS)技術的有力補充。當前普通磨削的加工精度大于1μm，表面粗糙度為Ra0.16~1.25μm；精密磨削技術是指被加工零件加工精度達到1~0.5μm，表面粗糙度為Ra 0.04~0.16μm的加工技術。主要靠對砂輪的精細修整。超精密磨削的加工精度小于0.5~0.1μm，表面粗糙度Ra0.01~0.04μm。使用金剛石或CBN砂輪。適合于合金鋼、陶瓷等硬脆材料的加工；用磨具進行磨削和用磨粒進行研磨和拋光時實現精密超精密磨削的主要途徑。
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